取り扱い装置
前工程
Ultratech 1500MVS
| ID番号 | F000967 |
|---|---|
| メーカー | UltratechStepper |
| 型番 | Ultratech 1500MVS |
| 年式 | --- |
12インチウェハ搬送機：OCRSC131-001-001
| ID番号 | F000538 |
|---|---|
| メーカー | ローツェ |
| 型番 | OCRSC131-001-001 |
| 年式 | --- |
SOLD OUT
エキシマレーザーユニット：G10K-2
| ID番号 | F000533 |
|---|---|
| メーカー | コマツ |
| 型番 | G10K-2 |
| 年式 | --- |
